Hochqualitative Edge Grip Endeffektoren, Aligner & Flipper

Anwendung

In der Halbleiterfertigung zählt jede Mikrometer-Abweichung. Wafer müssen mit höchster Präzision, absoluter Sauberkeit und minimalem mechanischem Stress bewegt, ausgerichtet und gewendet werden – rund um die Uhr, ohne Ausfallzeiten. Die Wafer Handling Komponenten von highQ Components sind das Ergebnis von über 30 Jahren Erfahrung in der vollautomatisierten Halbleiterproduktion und wurden speziell für die Anforderungen moderner 200mm und 300mm Waferprozesse entwickelt.

Intelligenter Endeffektor für schonenden Wafer-Transport

Der Edge Grip Smart Endeffektor erkennt beim Einfahren in die Kassette automatisch die exakte Lage des zu entnehmenden Wafers. Durch diese intelligente Lageerkennung wird die mechanische Belastung auf den Wafer signifikant reduziert – ein entscheidender Vorteil bei empfindlichen Substraten und hochvolumigen Produktionsumgebungen. Das System eignet sich für den Dauerbetrieb bei anspruchsvollsten Reinraumanforderungen.

Präzisions-Aligner und Flipper für vollständige Prozessintegration

Mit dem Edge Grip Aligner lassen sich Wafer auf eine Genauigkeit von ±50 µm ausrichten und zentrieren – ohne Vakuum, ohne Kontamination der Waferoberfläche. Der Edge Grip Flipper ergänzt das System um die Möglichkeit, Halbleiterscheiben um 180° zu drehen, sodass die Oberseite nach unten zeigt. Alle Komponenten sind vollständig inhouse entwickelt und gefertigt, was kurze Lieferzeiten und individuelle Anpassungen ermöglicht.

Ihre Vorteile

Vorteile

Edge Grip Smart Endeffektor

Edge Grip Aligner

Edge Grip Flipper

Maschinenstatus-Datenerfassungsmodul HQ-DCM

Anwendung

Ungeplante Maschinenstillstände verursachen in der Industrieproduktion erhebliche Kosten. Mit dem Datenerfassungsmodul HQ-DCM von highQ Components behalten Sie alle kritischen Betriebsparameter Ihrer Anlage jederzeit im Blick – und schaffen die Grundlage für eine effektive prädiktive Wartungsstrategie.

Umfassende Erfassung aller relevanten Betriebsgrößen

Das HQ-DCM erfasst und visualisiert kontinuierlich eine Vielzahl von Maschinenparametern: Temperaturen, Drücke, Flows, elektrische Versorgungsgrößen wie Strom und Spannung sowie – optional – Vibrationen über einen integrierten Schwingungssensor. Alle Werte werden in Echtzeit dargestellt, sodass Betreiber sofort auf Abweichungen reagieren können, bevor es zu Ausfällen kommt.

Rohdatenexport für individuelle Trendanalysen

Neben der Live-Anzeige speichert das Modul alle erfassten Messwerte dauerhaft und stellt sie über eine dedizierte OPC-UA Schnittstelle als Rohdaten zur Verfügung. Diese können in externe Systeme exportiert und für individuelle Trendauswertungen, Langzeitanalysen oder die Integration in übergeordnete Industrie-4.0-Plattformen genutzt werden.

Ihre Vorteile

Darstellung und Speicherung von wichtigen Betriebsmitteln zu jeder Zeit hilft für die prädikative Wartung aber auch bei der Fehlersuche. Die Rohdaten können zudem ausgegeben werden, sodass Trends erstellt werden können.

Datenerfassungmodul DCM20

Downloads

Datenblatt
Handbuch

Unsere motorisierte Strahlaufweitung – Präzision im Nanometerbereich

Anwendung

Maximale Wiederholgenauigkeit, stufenlose Einstellbarkeit und piezogetriebene Hochleistungsoptik: Die motorisierte Strahlaufweitung von HighQ Components setzt neue Maßstäbe in der laserbasierten Präzisionsbearbeitung. Ob Forschung, industrielle Fertigung oder Halbleitertechnik – mit unserer Lösung definieren Sie Strahlaufweitung und Fokus exakt nach Ihren Anforderungen.

Was ist eine motorisierte Strahlaufweitung – und warum ist sie entscheidend?

In der Lasertechnik entscheiden Mikrometer über Erfolg oder Ausschuss. Eine motorisierte Strahlaufweitung ermöglicht es, den Laserstrahl präzise aufzuweiten, den Fokuspunkt exakt zu definieren und beide Parameter reproduzierbar zu steuern – vollständig automatisiert und ohne manuellen Eingriff. Das reduziert Fehlerquellen, spart Zeit und erhöht die Prozesssicherheit erheblich.

Stufenlos einstellbar: 2x bis 8x Aufweitung für jeden Anwendungsfall

Die motorisierte Strahlaufweitung von HighQ Components lässt sich im Bereich von 2x bis 8x stufenlos einstellen. Gleichzeitig kann die Strahldivergenz und damit der Fokus um ±1 mm höchstgenau justiert werden. Das macht das System ideal für Anwendungen, bei denen unterschiedliche Materialien, Schichtdicken oder Bearbeitungsparameter auf ein und demselben System verarbeitet werden.

Ihre Vorteile auf einen Blick

Strahlaufweitung Features Grid

Motorisierte Strahlaufweitung 355nm

Motorisierte Strahlaufweitung 532nm

Motorisierte Strahlaufweitung 1.064nm

Downloads

Bemaßte Zeichnung MBE & Controller

Performance Level e (PLe) zertifizierte Sicherheitsmodule für Faserlaser

Anwendung

Faserlaser gehören zu den leistungsstärksten Werkzeugen in der modernen Fertigungstechnik – und stellen damit höchste Anforderungen an die Maschinensicherheit. Die Sicherheitsmodule für Faserlaser von highQ Components sind speziell für den zuverlässigen Betrieb von Laseranlagen entwickelt und nach Performance Level e (PLe) durch die DEKRA zertifiziert – der höchsten Sicherheitsstufe nach EN ISO 13849.

Sofortige Abschaltung im Fehlerfall

Wird eine sicherheitsrelevante Maschinentür geöffnet oder ein Fehler detektiert, schaltet das Modul den Faserlaser innerhalb weniger Millisekunden stromlos. Dieses Verhalten macht die Module auch für hochleistungsstarke Faserlaser geeignet und gewährleistet den sicheren Betrieb in automatisierten Produktionsumgebungen ohne Kompromisse.

Transparent und SPS-kompatibel

Integrierte Status-LEDs auf der Modulvorderseite ermöglichen eine sofortige visuelle Diagnose des Betriebszustands. Der Modulstatus lässt sich zudem nahtlos an eine speicherprogrammierbare Steuerung (SPS) übertragen – ideal für die Integration in komplexe Maschinensteuerungen und Industrie-4.0-Umgebungen.

Ihre Vorteile

Vorteile

Edge Grip Smart Endeffektor

Edge Grip Aligner

Edge Grip Flipper

Zertifizierte Sicherheits-Lasershutter für unterschiedlichste Lasertypen

Zuverlässige Shuttermodule für maximale Lasersicherheit

Laserstrahlung sicher und zuverlässig zu kontrollieren ist eine der zentralen Anforderungen in der modernen Fertigungstechnik. Die elektromechanischen Shuttermodule von highQ Components sind direkt hinter dem Laserkopf installiert und blockieren den Strahl innerhalb kürzester Zeit – zuverlässig, wiederholgenau und für Laserleistungen von 0,1 W bis 10 kW ausgelegt.

Performance Level e (PLe) – zertifizierte Sicherheit für Ihre Maschine

Unsere Shuttermodule erfüllen in Kombination mit der Steuerungseinheit HQ-SCU16 das Performance Level e (PLe) – die höchste Stufe funktionaler Sicherheit nach EN ISO 13849, geprüft und zertifiziert durch die DEKRA. Damit eignen sich die Systeme für sicherheitskritische Maschinen in der Industrie, in der Medizintechnik und in der Halbleiterfertigung. Laser, Maschinentüren und Sicherheitssysteme lassen sich über den Controller zentral überwachen und steuern.

Geeignet für alle gängigen Lasertypen

Ob Nd:YAG-Laser, Faserlaser, CO₂-Laser oder Sonderlaser mit individuellen Wellenlängen – die Shuttermodule sind für eine breite Palette von Laserquellen ausgelegt. Mit Aperturen von 10 mm, 18 mm und 25 mm decken sie unterschiedlichste Strahldurchmesser ab und lassen sich flexibel in bestehende Anlagen integrieren. Die kompakte Bauweise und die standardisierten Schnittstellen erleichtern den Einbau erheblich.

Ihre Vorteile

Vorteile

Shutter HQ-LSA10

Shutter HQ-LSA18

Shutter HQ-LSA25

Shutter Controller HQ-SCU16

Downloads

Datenblatt
Handbuch
Step Dateien (CAD)