Hochqualitative Edge Grip Endeffektoren, Aligner & Flipper
Anwendung
Höchste Sauberkeit bei gleichzeitig wartungsarmen Betrieb zeichnen unsere Handlingskomponenten für Wafer aus. So werden unsere Komponenten bei einer Vielzahl von Wafer- und Chipherstellern erfolgreich in der 24/7 Produktion eingesetzt.
Der intelligente Endeffektor für 200 & 300mm Wafer erkennt beim Einfahren in die Kassette die Lage des abzuholenden Wafers, wodurch sich die mechanische Belastung auf den Wafer enorm verringert.
Zudem können Waferm it unserem Edge Grip Aligner hochgenau auf +/-50µm ausgerichtet und zentriert werden. Mit dem Flipper lassen sich die Halbleiterscheiben um 180° drheen, sodass die Oberseite nach unten zeigt.
Ihre Vorteile
Unsere 25 Jahre lange Erfahrung mit dem vollautomatisierten transferieren von Wafern und die immer größere werdenden Anforderungen unserer Kunden, hat dazu geführt, dass wir unsere eignenen PRodukte entwickelt haben, welche die Mitbewerbern in speziellen Anwendungen distanziert. So lassen sich mit unserem intelleigentem Endeffektor die Wafer so sauber und so belastungsarm wie mit kaum einen anderen Handlingsystem bewegen.
- Edge Grip Komponenten für extreme Genauigkeit und Sauberkeit
- Komplette Entwicklung & Produktion im eignen Haus
- Für 200mm und auch 300mm Wafer erhältlich
Edge Grip Smart Endeffektor
Edge Grip Aligner
