Hochqualitative Edge Grip Endeffektoren, Aligner & Flipper
Anwendung
Höchste Sauberkeit bei gleichzeitig wartungsarmen Betrieb zeichnen unsere Handlingskomponenten für Wafer aus. So werden unsere Komponenten bei einer Vielzahl von Wafer- und Chipherstellern erfolgreich in der 24/7 Produktion eingesetzt.
Der intelligente Endeffektor für 200 & 300mm Wafer erkennt beim Einfahren in die Kassette die Lage des abzuholenden Wafers, wodurch sich die mechanische Belastung auf den Wafer enorm verringert.
Zudem können Waferm it unserem Edge Grip Aligner hochgenau auf +/-50µm ausgerichtet und zentriert werden. Mit dem Flipper lassen sich die Halbleiterscheiben um 180° drheen, sodass die Oberseite nach unten zeigt.
Ihre Vorteile
Unsere 25 Jahre lange Erfahrung mit dem vollautomatisierten transferieren von Wafern und die immer größere werdenden Anforderungen unserer Kunden, hat dazu geführt, dass wir unsere eignenen PRodukte entwickelt haben, welche die Mitbewerbern in speziellen Anwendungen distanziert. So lassen sich mit unserem intelleigentem Endeffektor die Wafer so sauber und so belastungsarm wie mit kaum einen anderen Handlingsystem bewegen.
- Edge Grip Komponenten für extreme Genauigkeit und Sauberkeit
- Komplette Entwicklung & Produktion im eignen Haus
- Für 200mm und auch 300mm Wafer erhältlich
Edge Grip Smart Endeffektor
Edge Grip Aligner
Edge Grip Flipper
Kritische Daten der Maschine zu jeder Zeit!
Anwendung
Unser Datenerfassungsmodul zeigt zu jeder Zeit die Betriebsmittel der Maschine an. So lassen sich neben Strom und Spannung auch Temperaturen, Flows oder Drücke von Vakuum oder Druckluft anzeigen. Zusätzlich könnte ein Virbationssensor auch Schwingungen detektieren und darstellen.
Ihre Vorteile
Darstellung und Speicherung von wichtigen Betriebsmitteln zu jeder Zeit hilft für die prädikative Wartung aber auch bei der Fehlersuche. Die Rohdaten können zudem ausgegeben werden, sodass Trends erstellt werden können.
- Darstellung & Speicherung von Temperaturen, Drücken, Flows, elektrischer Versorgung oder Vibration
- Schnittstelle zum Export der Rohdaten für individuelle Trenderzeugung
- Geringere unerwartete Downtime ihrer Maschine durch prädikative Wartungseingriffe
Datenerfassungmodul DCM20
Piezoangetriebene Optiken für höchstgenaue Reproduzierbarkeit
Anwendung
Mit unserer motorisierten Strahlaufweitung lässt sich der Rohstrahl zwischen 2x und 8x stufenlos einstellen. Zudem kann auch die Strahldivergenz und somit der Fokus höchstgenau definiert werden. Durch die eingesetzten Piezoantriebe lassen sich die verbauten Linsen im Nanometerbereich wiederholgenau verfahren.
Ihre Vorteile
Die motorisierte Strahlaufweitung ist für eine Wellenlänge von 355nm, 532nm und 1.064nm erhältlich.
- Stufenlose Einstellbarkeit der Aufweitung von 2x bis 8x
- Stufenlose Einstellbarkeit des Fokus +/-1mm
- Höchstgenau Wiederholbarkeit durch Hochleistungs-Piezoantriebe
