Hochqualitative Edge Grip Endeffektoren, Aligner & Flipper

Anwendung

Höchste Sauberkeit bei gleichzeitig wartungsarmen Betrieb zeichnen unsere Handlingskomponenten für Wafer aus. So werden unsere Komponenten bei einer Vielzahl von Wafer- und Chipherstellern erfolgreich in der 24/7 Produktion eingesetzt.

Der intelligente Endeffektor für 200 & 300mm Wafer erkennt beim Einfahren in die Kassette die Lage des abzuholenden Wafers, wodurch sich die mechanische Belastung auf den Wafer enorm verringert.

Zudem können Waferm it unserem Edge Grip Aligner hochgenau auf +/-50µm ausgerichtet und zentriert werden. Mit dem Flipper lassen sich die Halbleiterscheiben um 180° drheen, sodass die Oberseite nach unten zeigt.

Ihre Vorteile

Unsere 25 Jahre lange Erfahrung mit dem vollautomatisierten transferieren von Wafern und die immer größere werdenden Anforderungen unserer Kunden, hat dazu geführt, dass wir unsere eignenen PRodukte entwickelt haben, welche die Mitbewerbern in speziellen Anwendungen distanziert. So lassen sich mit unserem intelleigentem Endeffektor die Wafer so sauber und so belastungsarm wie mit kaum einen anderen Handlingsystem bewegen.

Edge Grip Smart Endeffektor

Edge Grip Aligner

Edge Grip Flipper

Kritische Daten der Maschine zu jeder Zeit!

Anwendung

Unser Datenerfassungsmodul zeigt zu jeder Zeit die Betriebsmittel der Maschine an. So lassen sich neben Strom und Spannung auch Temperaturen, Flows oder Drücke von Vakuum oder Druckluft anzeigen. Zusätzlich könnte ein Virbationssensor auch Schwingungen detektieren und darstellen.

Ihre Vorteile

Darstellung und Speicherung von wichtigen Betriebsmitteln zu jeder Zeit hilft für die prädikative Wartung aber auch bei der Fehlersuche. Die Rohdaten können zudem ausgegeben werden, sodass Trends erstellt werden können.

Datenerfassungmodul DCM20

Piezoangetriebene Optiken für höchstgenaue Reproduzierbarkeit

Anwendung

Mit unserer motorisierten Strahlaufweitung lässt sich der Rohstrahl zwischen 2x und 8x stufenlos einstellen. Zudem kann auch die Strahldivergenz und somit der Fokus höchstgenau definiert werden. Durch die eingesetzten Piezoantriebe lassen sich die verbauten Linsen im Nanometerbereich wiederholgenau verfahren.

Ihre Vorteile

Die motorisierte Strahlaufweitung ist für eine Wellenlänge von 355nm, 532nm und 1.064nm erhältlich.

Motorisierte Strahlaufweitung