Der Edge Grip Smart Endeffektor erkennt beim Einfahren in die Kassette automatisch die exakte Lage des zu entnehmenden Wafers. Durch diese intelligente Lageerkennung wird die mechanische Belastung auf den Wafer signifikant reduziert – ein entscheidender Vorteil bei empfindlichen Substraten und hochvolumigen Produktionsumgebungen. Das System eignet sich für den Dauerbetrieb bei anspruchsvollsten Reinraumanforderungen.

Mit dem Edge Grip Aligner lassen sich Wafer auf eine Genauigkeit von ±50 µm ausrichten und zentrieren – ohne Vakuum, ohne Kontamination der Waferoberfläche. Der Edge Grip Flipper ergänzt das System um die Möglichkeit, Halbleiterscheiben um 180° zu drehen, sodass die Oberseite nach unten zeigt. Alle Komponenten sind vollständig inhouse entwickelt und gefertigt, was kurze Lieferzeiten und individuelle Anpassungen ermöglicht.

Ungeplante Maschinenstillstände verursachen in der Industrieproduktion erhebliche Kosten. Mit dem Datenerfassungsmodul HQ-DCM von highQ Components behalten Sie alle kritischen Betriebsparameter Ihrer Anlage jederzeit im Blick – und schaffen die Grundlage für eine effektive prädiktive Wartungsstrategie.

Das HQ-DCM erfasst und visualisiert kontinuierlich eine Vielzahl von Maschinenparametern: Temperaturen, Drücke, Flows, elektrische Versorgungsgrößen wie Strom und Spannung sowie – optional – Vibrationen über einen integrierten Schwingungssensor. Alle Werte werden in Echtzeit dargestellt, sodass Betreiber sofort auf Abweichungen reagieren können, bevor es zu Ausfällen kommt.

Maximale Wiederholgenauigkeit, stufenlose Einstellbarkeit und piezogetriebene Hochleistungsoptik: Die motorisierte Strahlaufweitung von HighQ Components setzt neue Maßstäbe in der laserbasierten Präzisionsbearbeitung. Ob Forschung, industrielle Fertigung oder Halbleitertechnik – mit unserer Lösung definieren Sie Strahlaufweitung und Fokus exakt nach Ihren Anforderungen.

In der Lasertechnik entscheiden Mikrometer über Erfolg oder Ausschuss. Eine motorisierte Strahlaufweitung ermöglicht es, den Laserstrahl präzise aufzuweiten, den Fokuspunkt exakt zu definieren und beide Parameter reproduzierbar zu steuern – vollständig automatisiert und ohne manuellen Eingriff. Das reduziert Fehlerquellen, spart Zeit und erhöht die Prozesssicherheit erheblich.